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晶片邊緣輪廓儀
原廠品牌:
原廠介紹:
株式會社雄飛位于日本東京都,從Si基板的倒角技術開始,到專攻化合物半導體基板,約有50年的制造及銷售經驗,累積生產臺數超過1000臺。在日本具有最大的綜合占有率,Si,LT,LN,藍寶石行業都具有最強的市占率。同時在第三代半導體及第四代半導體,都保持著最高的技術及市場布局。接下來的幾年內,會慢慢轉向OEM模式,同時也在布局國產化的推進。
產品圖片:
產品型號:
產品介紹:
測量晶片表面邊緣形狀、定位邊形狀、缺口形狀。一臺即可完成全部測量。
輪廓測試數據:
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- 非接觸式測量
- φ2”~φ300mm
- 晶圓厚度:t200 μm 至 t1,500 μm(根據厚度需要更換鏡頭)
- 單色130萬像素 CCD 相機
- 直徑測量(可選)
本輪廓儀與我們的倒角機可以結合使用,將配置文件數據發送到倒角機以進行自動校正。 如需自動化機器,請聯系我們。
有任何相關問題請聯系:022-28219577