鉭罩是碳化硅晶體生長(zhǎng)爐的關(guān)鍵部件，在PVT法、Gas法等晶體生長(zhǎng)爐長(zhǎng)晶時(shí)起到關(guān)鍵作用。

在使用中可以有效提高晶體質(zhì)量，減少晶體不良率，防止設(shè)備內(nèi)部污染。

鉭罩為定制產(chǎn)品，可根據(jù)所提供的圖紙?jiān)O(shè)計(jì)不同貼合爐子形狀的產(chǎn)品以便使用，定制的鉭罩尺寸可以有效貼合設(shè)備內(nèi)壁，避免對(duì)內(nèi)壁造成污染，免于清理原料殘留物.