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氧化鎵襯底和外延片的常規晶向、摻雜、尺寸以及切割介紹

                                          

氧化鎵襯底片:

1. 001向Sn、UID;10mm×15mm、2inch、4inch。

2. -201向Sn、UID;10mm×15mm、2inch。

3. 010向Sn、UID;10mm×15mm。

 

氧化鎵外延片:

HVPE Epi和MBE Epi兩種

 

氧化鎵片切割尺寸和方式:

可切割為5mm×5mm,10mm×10mm,5mm×10mm,5mm×7.5mm等

切割方式為刀片式切割

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